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　　無油真空泵屬于干式真空泵，相比油潤滑真空泵使用會(huì)排除一定的二氧化碳和廢氣，它具有低碳、環(huán)保。而且無油真空泵不需要使用潤滑油，運(yùn)行穩(wěn)點(diǎn)，使用周期長，沒有油污等產(chǎn)生，符合現(xiàn)代企業(yè)節(jié)能的環(huán)保理念。

　　無油真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域域：

　　1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

　　2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

　　3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求。

　　4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵。

　　5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

　　綜上所述，無油真空泵無疑是順應(yīng)時(shí)代的潮流的設(shè)備，在這一個(gè)倡導(dǎo)節(jié)能減排，的時(shí)代，無油真空泵的出現(xiàn)顯然很是時(shí)候，在未來，會(huì)有更多的企業(yè)將會(huì)將眼光看向無油真空泵。