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對于無油真空泵而言，平日的保養維護等措施要及時到位。否則，當無油真空泵發生大的問題后，維修費用可是遠遠大于保養維護費用的。

無油真空泵的缸體內部安裝有真空泵轉子，轉子槽內安裝有真空泵葉片。葉片在電機的帶動下高速旋轉，使葉片與缸體發生摩擦，長時間后缸體內部將會出現磨損。請務必頂起對真空泵保養，保養項目中含有真空泵缸體的摩擦后修復或深加工等一系列保養工藝。

無油真空泵的葉片一般分為石墨、碳纖維、樹脂和鋁合金等材質。干式旋片泵的碳片易磨損，需要及時更換;樹脂葉片以及鋁合金葉片應隨其工作情況及時更換。

密封性能的好壞與否，關系到無油真空泵的工作效率。維護時，大約1年內做一次保養，對其密封墊片以及密封件進行更換，確保無油真空泵內為密封狀態。

除此之外，在日常的使用過程中，要同時穩定電壓以及過載保護電流等措施防止真空泵電機損壞，這也是需要注意的一點。